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鈦圓靶

適用于濺射鍍膜,在半導(dǎo)體芯片,MEMS傳感器,光電器件,寬禁帶半導(dǎo)體,石墨烯等行業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

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產(chǎn)品詳情

中國牌號:TA1,TA2,TA3,TA9,TA10,TC4,TC11.

美國牌號:Gr1,Gr2,Gr3,Gr7,Gr11,Gr5.

中國標(biāo)準(zhǔn):GB/T 16598,GB/T2965.

美國標(biāo)準(zhǔn):ASTM F2113,ASTM F1512.

加工工藝:鍛造,軋制。

表面:車光,倒角,表面清潔光滑,無起皮,氣孔,裂紋等缺陷。

規(guī)格:φ100×40,φ98×40,φ95×45,φ90×40,φ85×35,φ65×40.

化學(xué)成分:

Grade

N

C

H

Fe

O

Al

V

Pb

Mo

Ni

Ti

TA1/Gr1

0.03

0.08

0.015

0.2

0.18

/

/

/

/

/

Balance

TA2/Gr2

0.03

0.08

0.015

0.3

0.25

/

/

/

/

/

Balance

TA3/Gr3

0.05

0.08

0.015

0.3

0.35

/

/

/

/

/

Balance

TA4/Gr4

0.05

0.08

0.015

0.50

0.40

/

/

/

/

/

Balance

TC4/Gr5

0.05

0.08

0.015

0.4

0.2

5.5-6.75

3.5-4.5

/

/

/

Balance

TA9/Gr7

0.03

0.08

0.015

0.3

0.25

/

/

0.12-0.25

/

/

Balance

TA18/Gr9

0.03

0.08

0.015

0.25

0.15

2.5-3.5

2.0-3.0

/

/

/

Balance

主要應(yīng)用:適用于濺射鍍膜,在半導(dǎo)體芯片,MEMS傳感器,光電器件,寬禁帶半導(dǎo)體,石墨烯等行業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。


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